天眼查知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息顯示,揚(yáng)州揚(yáng)杰電子科技股份有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種提高可靠性能力的碳化硅二極管及其制備方法“,公開號(hào) CN202410712262.4,申請(qǐng)日期為 2024 年 6 月。
專利摘要顯示,一種提高可靠性能力的碳化硅二極管及其制備方法,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。通過(guò)改變無(wú)機(jī)鈍化層的組成結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)成了 SiO2、SiN、SiO2 三明治的結(jié)構(gòu),其中每層 SiO2 的厚度不小于 200nm,SiN 的厚度不小于 600nm,上層為有機(jī)鈍化層。類似三明治的三層結(jié)構(gòu)使得器件在高壓的 H3TRB 可靠性項(xiàng)目中能夠更好得到保護(hù),在高壓的 H3TRB 項(xiàng)目中,隨著項(xiàng)目的進(jìn)行,三層結(jié)構(gòu)的無(wú)機(jī)鈍化層可以保證器件在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中更好的隔絕水汽,保護(hù)碳化硅外延層,從而提高器件的高壓 H3TRB 的可靠性。