寧波前灣新區(qū)管理委員會官網(wǎng)消息，近日，寧波冠石半導體有限公司迎來關(guān)鍵節(jié)點，企業(yè)引入首臺電子束掩模版光刻機。據(jù)悉，該設(shè)備是光掩模版40納米技術(shù)節(jié)點量產(chǎn)及28納米技術(shù)節(jié)點研發(fā)的重點設(shè)備。作為半導體產(chǎn)業(yè)鏈上游重要的原材料之一，光掩模版是承載圖形設(shè)計和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息的載體。目前，我國高精度半導體光掩模版產(chǎn)品主要仍依賴于進口，國產(chǎn)化率極低。據(jù)冠石相關(guān)負責人介紹，企業(yè)正加速推進海外布局戰(zhàn)略，并在世界一流半導體光掩模版制造技術(shù)班底的加持下，預計今年底，企業(yè)將陸續(xù)實現(xiàn)為國內(nèi)外中高端集成電路掩模版提供制版服務。