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CASICON晶體大會前瞻 |北京大學教授沈波:AlN單晶襯底和外延薄膜的制備

發表于:2024-05-31 來源:半導體產業網 編輯:

?頭圖

AlN具有超寬的直接帶隙 (6.2 eV)、高擊穿場強、優異的壓電特性和良好的光學性質,特別是AlN與GaN晶格失配小,熱膨脹系數接近,熱導大幅度高于GaN,具有既實現高質量氮化物半導體同質外延生長,又滿足高功率密度器件散熱需求的優勢,在紫外光電器件、微波毫米波器件、功率電子器件、射頻濾波器等領域具有重要應用價值。?

2024年6月21至23日,“新一代半導體晶體技術及應用大會”將在山東濟南召開,將邀請新一代半導體領域相關高校院所專家和知名企業代表出席,共同研討新一代半導體晶體技術進展及未來發展趨勢,分享前沿研究成果,攜手助力我國新一代半導體晶體技術進步和產業發展。??

北京大學教授、理學部副主任、寬禁帶半導體研究中心主任沈波受邀將出席會議,并帶來《AlN單晶襯底和外延薄膜的制備》的大會主旨報告,報告將分享相關最新研究成果,北京大學近年來圍繞高質量AlN單晶襯底和外延薄膜的獲得開展了系統工作,在AlN體單晶的PVT生長研究上,實現了直徑超過62 mm的AlN晶體和直徑超過50 mm的AlN單晶襯底;在AlN薄膜的 MOCVD大失配外延研究上,藍寶石襯底上AlN薄膜的位錯腐蝕坑密度已降低至?~104 cm-2量級。在Si襯底上實現了厚度2 μm的高質量AlN外延薄膜。

沈 波?

沈波,北京大學長江特聘教授、杰青、創新群體帶頭人、973項目首席科學家。曾任國家863計劃“第三代半導體”重點專項總體專家組組長,現為?“新型顯示和戰略性先進電子材料” 國家重點研發計劃第三代半導體方向專家組組長,并擔任國家第三代半導體產業技術創新戰略聯盟副理事長。長期從事GaN基第三代半導體材料、物理和器件研究,先后主持20多項國家級科研項目,發表SCI論文400多篇,出版中英文專著4部,獲得/申請國家發明專利80多件,部分成果實現了產業化應用,先后獲國家技術發明二等獎、國家自然科學二等獎和多項省部級獎項。

一、組織機構

指導單位:

第三代半導體產業技術創新戰略聯盟(CASA)

主辦單位:

山東中晶芯源半導體科技有限公司

山東華光光電子股份有限公司

山東大學新一代半導體材料研究院

山東大學晶體材料國家重點實驗室

極智半導體產業網(www.casmita.com)

第三代半導體產業

承辦單位:

北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司

廣州南砂晶圓半導體技術有限公司

協辦支持:

山東硅酸鹽學會新材料專委會

江蘇通用半導體有限公司

顧問委員會:

陳良惠 鄭有炓 吳以成 褚君浩 祝世寧 李樹深 王立軍 黃如 楊德仁 葉志鎮 江風益 劉益春 羅毅 金奎娟 劉紀美

大會主席:張榮 徐現剛 吳玲

大會副主席:陳秀芳 趙璐冰 王垚浩 吳德華

程序委員會:

李晉閩 沈波 康俊勇 張清純 馮淦 盛況 邱宇峰 張波 柏松 陳彤 修向前 黃凱 胡卉 伊曉燕 黎大兵 魏同波 張紫輝 鄧小川 劉斌 王曉亮 王新強 張進成 吳軍 趙德剛 孫錢 楊學林 單崇新 于浩海 葉建東 王宏興 王篤福 王光緒 韓吉勝 黃森 馮志紅 龍世兵 房玉龍 彭燕 徐明升 朱振 夏偉 楊祥龍 樊仲偉 顧小勇 孫洪波 郝志彪 唐淳 林學春 王成新 于國建 萬成安 上官世鵬

組織委員會:

李樹強 李強 高娜 張雷 寧靜 閆方亮 崔瀠心 謝雪健 肖龍飛 薛軍帥 王榮堃? 劉鵬 王雨雷 王希瑋 賈欣龍 王守志 崔鵬 鐘宇 李沛旭 沈燕 杜軍軍 任穎 許建華 等

二、主題方向

1. 碳化硅晶體技術及其應用

·碳化硅晶錠激光剝離技術及其設備

·液相法碳化硅單晶生長技術

·碳化硅外延生長技術

·先進長晶及外延碳材石墨技術

·碳化硅功率器件設計與制造技術

·先進碳化硅長晶爐及外延生長裝備

·先進晶體缺陷檢測技術及其設備

·先進研磨設備及先進拋光技術

·激光退火設備及技術

·先進刻蝕設備及技術

·銀燒結封裝技術及先進封裝設備

2. 氮化鎵、超寬禁帶晶體及其應用

·氮化鎵單晶及外延生長技術

·氮化鎵功率及射頻器件技術

·超寬禁帶半導體單晶技術

·鈮酸鋰晶體技術制備

·大尺寸金剛石單晶生長技術

·氧化鎵單晶生長技術

·氧化鎵外延及器件技術

·先進AlN 單晶生長技術及其應用

·Micro LED 技術

3. 砷化鎵、磷化銦晶體及其應用

·砷化鎵、磷化銦單晶及外延技術

·半導體激光器技術及應用

·車用激光雷達技術及應用

·光通信技術及應用

·紅外LED及顯示照明技術

三、會議日程(擬)

時間:2024年6月21-23日? 地點:中國·濟南

日程框架

四、擬參與單位

北方華創、百識電子、比亞迪半導體、長飛半導體、東莞天域、東尼電子、華大半導體、華虹半導體、海思半導體、海創光電、瀚天天成、國星光電、基本半導體、江蘇宏微、晶盛機電、晶湛半導體、科友半導體、山東華光、連城數控、理想汽車、麥科信、南砂晶圓、日立、三安半導體、山東華光、山東華云光電、山東中晶芯源半導體科技有限公司、是德科技、三環集團、爍科晶體、士蘭微、STR、蘇州納維、泰克科技、同光半導體、泰科天潤、特思迪、ULVAC、先導新材、西門子、小鵬汽車、意法半導體、英飛凌、揚杰科技、英諾賽科、中博芯、中電化合物、中電科二所、中電科十三所、中電科四十六所、中電科四十八所、中電科五十五所、中鎵半導體、中微公司、瞻芯電子、中芯國際、北京大學、東南大學、電子科技大學、復旦大學、清華大學、南京大學、山東大學、西安電子科技大學、西安交通大學、廈門大學、浙江大學、中科院半導體所、中科院微電子所等

五、活動參與

1、注冊費2800元,6月10日前注冊報名2500元(含會議資料袋,6月22日午餐、歡迎晚宴,6月23日自助午餐、晚餐)。企業展位預定中,請具體請咨詢。

2、掃碼報名

活動行報名二維碼

掃碼完成預報名,然后再注冊繳費

六、繳費方式

①銀行匯款

開戶行:中國銀行北京科技會展中心支行

賬 號:336 356 029 261

名 稱:北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司

②移動支付

麥肯橋收款碼

備注:通過銀行匯款/移動支付,請務必備注:單位簡稱+姓名,以便后續查詢及開具發票。若需開具發票請將報名信息、轉賬憑證及開票信息發送至郵箱:[email protected]

七、聯系方式

報告及論文投稿聯系:

賈先生18310277858,[email protected]

白女士18888840079,[email protected]

參會及商務合作:

賈先生 18310277858,[email protected]

張女士 13681329411,[email protected]

段先生 13717922543,[email protected]?

?八、協議酒店

?酒店名稱:濟南融創施柏閣酒店(濟南市歷城區鳳鳴路5865號)

?協議價格:大床/ 標間? 含早? 500元/1-2份早餐

預訂方式:

發郵件到 預訂部? [email protected]? 抄送:[email protected]

2:郵件模本:晶體會議,姓名,電話,房型,入住時間,退房時間

3:酒店銷售經理:謝文寧15966068948

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