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IFWS 2023│博睿光電梁超:面向高功率器件的超高導熱AIN陶瓷基板的研制及開發

發表于:2023-12-11 來源:半導體產業網 編輯:

?高性能陶瓷基板具有優異的機械、熱學和電學性能,在電子和半導體領域有著廣泛的應用,可以支撐和固定半導體材料的基礎材料。其低介電常數、高機械強度和熱穩定性能優異,能夠提高器件的工作性能和可靠性。在半導體領域中,它被用于制造高端功率器件、射頻器件、微波器件等。

梁超

近期,第九屆國際第三代半導體論壇(IFWS)&第二十屆中國國際半導體照明論壇(SSLCHINA)于廈門召開。期間,“碳化功率器件及其封裝技術分會“上,江蘇博睿光電股份有限公司副總經理梁超做了”面向高功率器件的超高導熱AIN陶瓷基板的研制及開發“的主題報告,分享了高性能陶瓷基板的研究進展。

高性能陶瓷基板應用涉及LED封裝、激光器件(LD)散熱器、第三代電力電子設備等領域。當前高集成芯片卡脖子問題主要是熱管理,高性能陶瓷基板的研究方向涉及機械性能、導熱性能、電氣性能等,熱導率提升仍然是關注的焦點,熱導率提升導致抗彎強度大幅下降。報告分享了制程優化、力學性能勻化、AlN基板表面拓撲優化改進、面向功率器件的超高韌性AlN基板的研究進展,面向功率器件的超高韌性AlN基板的最新進展,以及博睿DPC制程技術優化。其中,對于制程優化研究方面 研磨過程是導致基材的機械性能,無研磨工藝需要精確的尺寸控制,漿料配方、球磨工藝、鑄造工藝等,需要協同優化。

報告指出,高性能AlN陶瓷襯底的國產化將有效推動中國功率半導體的發展;AlN襯底針對不同應用場景的定向開發促進了下游封裝技術的發展;將高性能AlN陶瓷基板與金屬化技術相結合,有助于開發高功率密度器件的封裝要求。

嘉賓簡介

梁超,博士,研究員高工,江蘇博睿光電有限公司副總經理。先后入選“江蘇省333高層次人才培養工程”、江蘇省六大人才高峰、“千百十”計劃高層次創新領軍人才;獲江蘇省科學技術進步二等獎1項、南京市科學技術進步二等獎1項等。主要研究方向第三代半導體光電材料,在發光材料方向開發出LED用高性能鋁酸鹽、硅酸鹽體系多個色系熒光粉,為高光品質照明、全光譜照明整體解決方案提供支撐;研究并開發出具有高導熱系數的AlN陶瓷基板及配套關鍵技術。共申請發明專利68件,授權發明專利54件(3件PCT專利分別于美國、韓國獲得授權),發表SCI收錄論文7篇,EI收錄論文6篇。

公司簡介

江蘇博睿光電股份有限公司成立于2009年9月,公司專業從事新型光電材料的研究、開發和應用工作,是國內LED熒光粉領域的龍頭企業,也是包括昕諾飛、歐司朗、三星等國際照明企業的熒光粉全球主要供應商之一和戰略合作伙伴。近年來,公司緊跟半導體技術前沿發展,深度布局高性能稀土發光材料、界面連接材料、高導熱陶瓷基板、特殊結構封裝等領域,在第三代半導體封裝材料領域,已形成科研開發、規模生產和專業化服務的完整體系,成為面向第三代半導體的光電材料專家。公司為國家重點專精特新小巨人企業、高新技術企業、蘇南國家自主創新示范區“瞪羚企業”、江蘇省最具成長性高科技企業,建有江蘇省工程技術研究中心、江蘇省企業技術中心、國家博士后科研工作站等研發平臺,先后承擔國家發改委、江蘇省科技成果轉化等國家、省部級項目20余項,累計有效申請發明專利150余件,有效授權發明專利108件(40件PCT專利)。公司為江蘇省企業知識產權管理標準化示范先進單位、南京市百強高新技術企業、南京市知識產權示范企業、江寧高新區納稅大戶,屬于工業穩增長和轉型升級成效明顯市內企業。

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