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晶格領(lǐng)域邀您參加年度國(guó)際論壇IFWS&SSLCHINA

發(fā)表于:2023-11-22 來(lái)源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

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2023年11月27-30日,第九屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS)&第二十屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA)將于廈門國(guó)際會(huì)議中心召開(kāi)。本屆論壇由廈門市人民政府、廈門大學(xué)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)、中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)主辦,廈門市工業(yè)和信息化局、廈門市科學(xué)技術(shù)局、廈門火炬高新區(qū)管委會(huì)、惠新(廈門)科技創(chuàng)新研究院、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司承辦。

作為國(guó)內(nèi)首家以液相法為核心技術(shù)生長(zhǎng)SiC晶體的企業(yè)晶格領(lǐng)域?qū)⒘料啾緦檬?huì)。期間,“碳化硅襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù)”技術(shù)論壇上,北京晶格領(lǐng)域半導(dǎo)體有限公司總經(jīng)理張澤盛將帶來(lái)“液相法碳化硅單晶生長(zhǎng)技術(shù)研究”的主題報(bào)告,分享最新技術(shù)研究成果與發(fā)展趨勢(shì),誠(chéng)邀業(yè)界同仁共聚本屆盛會(huì),交流互通,同議產(chǎn)業(yè)發(fā)展的現(xiàn)在與未來(lái)。

張澤盛
? ? ? 張澤盛,北京晶格領(lǐng)域半導(dǎo)體有限公司執(zhí)行董事監(jiān)總經(jīng)理,博士,2023年獲得北京市科技新星榮譽(yù)稱號(hào)。已發(fā)表SCI論文6篇,申請(qǐng)發(fā)明專利17項(xiàng)(已授權(quán)3項(xiàng))。自2016年起開(kāi)始進(jìn)行液相法生長(zhǎng)碳化硅晶體技術(shù)研究,結(jié)合液相法生長(zhǎng)晶體的技術(shù)特點(diǎn)改造設(shè)計(jì)了液相法碳化硅單晶生長(zhǎng)爐,并針對(duì)液相法碳化硅單晶生長(zhǎng)的生長(zhǎng)方法、溫場(chǎng)控制、助溶液配比、籽晶粘接與選取、籽晶旋轉(zhuǎn)、籽晶提拉等晶體生長(zhǎng)工藝進(jìn)行了大量且深入的基礎(chǔ)研究,成功實(shí)現(xiàn)晶體尺寸從2英寸快速突破到6英寸,在晶體生長(zhǎng)速度、生長(zhǎng)質(zhì)量以及生長(zhǎng)厚度方面也取得了巨大進(jìn)步,達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。2020年6月,創(chuàng)立了國(guó)內(nèi)首家采用液相法技術(shù)制備SiC襯底的企業(yè)—北京晶格領(lǐng)域半導(dǎo)體有限公司,實(shí)現(xiàn)了液相法碳化硅生長(zhǎng)產(chǎn)業(yè)化技術(shù)成果轉(zhuǎn)化落地,目前已建成的實(shí)驗(yàn)線具備年產(chǎn)超5000片碳化硅單晶襯底的生產(chǎn)能力。在液相法生長(zhǎng)碳化硅單晶技術(shù)方面取得了重大突破,襯底質(zhì)量逐步接近市場(chǎng)化需求,已經(jīng)開(kāi)始進(jìn)行下游驗(yàn)證,在國(guó)內(nèi)首次攻克了液相法SiC晶體生長(zhǎng)產(chǎn)業(yè)化技術(shù),即將進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化擴(kuò)產(chǎn)階段。該技術(shù)大范圍推廣將推動(dòng)SiC產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

技術(shù)分論壇:碳化硅襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù)

Technical?Sub-Forum:?Technologies for SiC Substrate, Epitaxy Growth and Equipment

時(shí)間:2023年11月29日08:25-12:00

地點(diǎn):廈門國(guó)際會(huì)議中心酒店?? 白鷺

Time: Nov 29, 08:25-12:00

Location:?Xiamen International Conference Center ? Egret Hall

協(xié)辦支持/Co-organizer:

三安半導(dǎo)體?San'an Co.,ltd

廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司Guangzhou Summit Crystal Semiconductor Co.,Ltd

北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司?NAURA Technology Group Co., Ltd.?

賽邁科先進(jìn)材料股份有限公司 SIAMC Advanced Material Corporation

清軟微視(杭州)科技有限公司 ???T-Vision.AI (Hangzhou) Tech Co.,Ltd.?

九峰山實(shí)驗(yàn)室??JFS Laboratory

德國(guó)愛(ài)思強(qiáng)股份有限公司??AIXTRON?SE

河北普興電子科技股份有限公司 ?HEBEIPOSHINGELECTRONICSTEC??????

哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司 KY Semiconductor, Inc

屏幕尺寸?/ Slides Size:16:9

主持人

Moderator

徐現(xiàn)剛 / XU Xiangang

山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料研究院院長(zhǎng)、教授

Professor & Dean of Institute of Novel Semiconductors, Shandong University

??淦 / FENG Gan

瀚天天成電子科技(廈門)有限公司總經(jīng)理

General Manager of EpiWorld International Co.,Ltd.

陳小龍/CHEN Xiaolong

中國(guó)科學(xué)院物理研究所研究員

Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences

08:25-08:30

嘉賓致辭 /?Opening?Address

08:30-08:50

利用碳化鉭的坩堝中物理氣相傳輸生長(zhǎng)SiC和AlN晶體

Growth of bulk SiC and AlN crystals by Physical Vapor Transport in a crucible with presence of TaC

Yuri MAKAROV--Nitride Crystals Group Ltd.執(zhí)行總裁

Yuri MAKAROV--President of Nitride Crystals Group Ltd.

08:50-09:10

200 mm 4H-SiC高質(zhì)量厚層同質(zhì)外延生長(zhǎng)

200mm 4H-SiC for high quality thick-layer homogeneous epitaxial growth

薛宏偉--河北普興電子科技股份有限公司總經(jīng)理

XUE?Hong--General Manager of Hebei Poshing Electronic Technology Co., Ltd

09:10-09:30

High throughput Epitaxy Solution for 150mm and 200mm Silicon Carbide

碳化硅6/8英寸高產(chǎn)能外延解決方案

方子文--德國(guó)愛(ài)思強(qiáng)股份有限公司中國(guó)區(qū)總經(jīng)理

FANG Ziwen--General Manager, AIXTRON SE of China

09:30-09:50

大尺寸SiC單晶的研究進(jìn)展Research progress of 8-inch SiC single crystal

楊祥龍--山東大學(xué)副教授/南砂晶圓技術(shù)總監(jiān)

YANG Xianglong--Associate professor of Shandong University Technical director of Guangzhou Summit Crystal Semiconductor Co., Ltd

09:50-10:10

化合物半導(dǎo)體襯底和外延缺陷無(wú)損檢測(cè)技術(shù) Nondestructive Inspection for Compound Semiconductor Substrate and Epitaxy

周繼樂(lè)--清軟微視(杭州)科技有限公司 總經(jīng)理

ZHOU Jile-- General Manager of T-Vision.AI (Hangzhou) Tech Co.,Ltd

10:10-10:25

茶歇 / Coffee Break

10:25-10:45

時(shí)間分辨光譜技術(shù)及其在SiC材料檢測(cè)中的應(yīng)用

Transient Absorption Spectroscopy and Its Applications in Semiconductor Testing

金盛燁--中國(guó)科學(xué)院大連理化所研究員、大連創(chuàng)銳光譜科技有限公司董事長(zhǎng)

JIN Shengye--Professor?of Dalian Institute of Physics and Chemistry, Chinese Academy of Sciences, Chairman of Dalian Chuangrui Spectral Technology Co., Ltd

10:45-11:05

8英寸碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展

Industrialization progress of 8-inch silicon carbide substrate

趙麗麗--哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司董事長(zhǎng)

ZHAO Lili--President of KY Semiconductor, Inc.

11:05-11:25

精細(xì)石墨——半導(dǎo)體材料制造之柱

Fine Graphite, a pillar for semiconductor material manufacture

吳厚政--賽邁科電子股份有限公司CTO

WU Houzheng--CTO of SIAMC Advanced Material Corporation

11:25-11:45

液相法碳化硅單晶生長(zhǎng)技術(shù)研究

Research on the Growth Technology of Silicon Carbide Single Crystal by Liquid Phase Method

張澤盛--北京晶格領(lǐng)域半導(dǎo)體有限公司總經(jīng)理

ZHANG Zesheng--General Manager of Beijing Lattice?Semiconductor Co., Ltd

11:45-12:00

碳化硅襯底粗研磨和精研磨工藝及耗材技術(shù)

?SiC Substrate Coarse Lapping and ?Fine Lapping Processes and Consumables

苑亞斐?北京國(guó)瑞升科技集團(tuán)股份有限公司研發(fā)總監(jiān)

YUAN Yafei ?R&D Director of Beijing Grish Hitech Co., Ltd

12:00-12:15

熱壁反應(yīng)器在4°離軸襯底上生長(zhǎng)150mm低表面粗糙度4H-SiC外延層

Growth of 150 mm 4H-SiC Epilayers with Low Surface Roughness by a Hot-Wall Reactor on 4° off-Axis Substrates

閆果果--中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體所助理研究員

YAN Guoguo--Institute?of?Semiconductors,?Chinese?Academy?of?Sciences?

12:00-13:25

午休 / Adjourn

?(備注:本場(chǎng)會(huì)議日程仍在調(diào)整中,僅供參考,最終以現(xiàn)場(chǎng)為準(zhǔn)!)??

晶格領(lǐng)域會(huì)議手冊(cè)單頁(yè)廣告1116

晶格領(lǐng)域半導(dǎo)體有限公司于2020年6月成立,是集碳化硅(SiC)襯底研發(fā)、生產(chǎn)及銷售于一體,北京市及順義區(qū)重點(diǎn)關(guān)注的創(chuàng)新型高技術(shù)企業(yè)。 晶格領(lǐng)域是國(guó)內(nèi)首家以液相法為核心技術(shù)生長(zhǎng)SiC晶體的企業(yè),掌握具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的液相法SiC晶體生長(zhǎng)技術(shù)。相較當(dāng)前主流的物理氣相傳輸法晶體生長(zhǎng)技術(shù),液相法能有效提高晶體質(zhì)量,降低生產(chǎn)成本,并能有效解決目前行業(yè)內(nèi)高質(zhì)量4H-p型和3C-n型SiC襯底的產(chǎn)業(yè)化難題。此外,該方法對(duì)于推動(dòng)寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。

公司已建成液相法碳化硅襯底制備試驗(yàn)線,并成功生長(zhǎng)出4-6英寸4H-p型SiC晶體。2023年,公司進(jìn)一步開(kāi)發(fā)了2-4英寸3C-n型SiC晶體的液相生長(zhǎng)技術(shù),6英寸也在研發(fā)中。兩種產(chǎn)品的尺寸、質(zhì)量與厚度均處于國(guó)際領(lǐng)先水平。公司注重人才發(fā)展,擁有多種人才發(fā)展渠道,勵(lì)志打造一支技術(shù)過(guò)硬、業(yè)務(wù)精湛的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),發(fā)展成為國(guó)際一流的SiC襯底企業(yè),促進(jìn)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

更多論壇內(nèi)容、活動(dòng)及嘉賓信息,敬請(qǐng)關(guān)注半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)!

附論壇詳細(xì)信息:

會(huì)議時(shí)間 : 2023年11月27-30日

會(huì)議地點(diǎn) :中國(guó)· 福建 ·廈門國(guó)際會(huì)議中心

主辦單位:

廈門市人民政府

廈門大學(xué)

第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)

中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)

承辦單位:

廈門市工業(yè)和信息化局

廈門市科學(xué)技術(shù)局

廈門火炬高新區(qū)管委會(huì)

惠新(廈門)科技創(chuàng)新研究院

北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司

論壇主題:低碳智聯(lián)· 同芯共贏

程序委員會(huì) :

程序委員會(huì)主席團(tuán)

主席:

張? ?榮--廈門大學(xué)黨委書(shū)記、教授

聯(lián)合主席:

劉? ?明--中國(guó)科學(xué)院院士、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所所研究員

顧? ?瑛--中國(guó)科學(xué)院院士、解放軍總醫(yī)院教授

江風(fēng)益--中國(guó)科學(xué)院院士、南昌大學(xué)副校長(zhǎng)、教授

李晉閩--中國(guó)科學(xué)院特聘研究員

張國(guó)義--北京大學(xué)東莞光電研究院常務(wù)副院長(zhǎng)、教授

沈? ?波--北京大學(xué)理學(xué)部副主任、教授

徐? ?科--江蘇第三代半導(dǎo)體研究院院長(zhǎng)、中科院蘇州納米所副所長(zhǎng)、研究員

邱宇峰--廈門大學(xué)講座教授、全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院原副院長(zhǎng)

盛? ?況--浙江大學(xué)電氣工程學(xué)院院長(zhǎng)、教授

張? ?波--電子科技大學(xué)教授

陳? ?敬--香港科技大學(xué)教授

徐現(xiàn)剛--山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料研究院院長(zhǎng)、教授

吳偉東--加拿大多倫多大學(xué)教授

張國(guó)旗--荷蘭工程院院士、荷蘭代爾夫特理工大學(xué)教授

Victor Veliadis--PowerAmerica首席執(zhí)行官兼首席技術(shù)官、美國(guó)北卡羅萊納州立大學(xué)教授

日程總覽:
日程總覽1116
備注:更多同期活動(dòng)正在逐步更新中!
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注冊(cè)參會(huì):
注冊(cè)參會(huì)

備注:11月15日前注冊(cè)報(bào)名,享受優(yōu)惠票價(jià)!

*中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)或第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)成員單位在此基礎(chǔ)上再享受10%優(yōu)惠。

*學(xué)生參會(huì)需提交相關(guān)證件。

*會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)報(bào)到注冊(cè)不享受各種優(yōu)惠政策。

*若由于某些原因,您繳費(fèi)后無(wú)法參會(huì),可辦理退款事宜,組委會(huì)將扣除已繳費(fèi)金額的5%作為退款手續(xù)費(fèi)。

*IFWS相關(guān)會(huì)議:碳化硅襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù),氮化物襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù),碳化功率器件及其封裝技術(shù)I、Ⅱ,氮化鎵功率電子器件,氮化鎵射頻電子器件,超寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù),化合物半導(dǎo)體激光器與異質(zhì)集成技術(shù)、氮化物紫外技術(shù) ;

*SSL技術(shù)會(huì)議:光品質(zhì)與光健康醫(yī)療技術(shù),Mini/Micro-LED及其他新型顯示技術(shù),半導(dǎo)體照明芯片、封裝及光通信技術(shù),氮化物半導(dǎo)體固態(tài)紫外技術(shù),光農(nóng)業(yè)與生物技術(shù),化合物半導(dǎo)體激光器與異質(zhì)集成技術(shù)、氮化物紫外技術(shù) ;

*IFWS會(huì)議用餐包含:28日午餐、28日歡迎晚宴、29日午餐和晚餐、30日午餐;

*SSL會(huì)議用餐:27日晚餐、28日午餐、28日歡迎晚宴、29日午餐。

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組委會(huì)聯(lián)系方式:

1.投稿咨詢

白老師

010-82387600-602

[email protected]

2.贊助/參會(huì)/參展/商務(wù)合作

張女士

13681329411

[email protected]

賈先生

18310277858

[email protected]

余先生

18110121397

[email protected]?

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