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2023年11月27-30日，第九屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS）&第二十屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA）將于廈門國(guó)際會(huì)議中心召開。本屆論壇由廈門市人民政府、廈門大學(xué)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）、中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）主辦，廈門市工業(yè)和信息化局、廈門市科學(xué)技術(shù)局、廈門火炬高新區(qū)管委會(huì)、惠新(廈門)科技創(chuàng)新研究院、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司承辦。

歷經(jīng)二十年的深耕積累，IFWS&SSLCHINA已是中國(guó)地區(qū)舉辦的、專業(yè)性最強(qiáng)、規(guī)格最高的第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈綜合性論壇，是國(guó)內(nèi)外第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“風(fēng)向標(biāo)”，更是業(yè)界不可錯(cuò)過的經(jīng)典行業(yè)年度國(guó)際盛會(huì)。今年時(shí)值半導(dǎo)體照明工程啟動(dòng)20周年，以及中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇20周年，本屆盛會(huì)特別設(shè)置諸多亮點(diǎn)活動(dòng)值得期待。論壇將通過主論壇、主題分論壇，專題峰會(huì)等形式邀請(qǐng)最具代表性的行業(yè)專家、企業(yè)家?guī)碜钋把刳厔?shì)的分享探討，全面覆蓋產(chǎn)業(yè)發(fā)展前沿?zé)狳c(diǎn)。除了大會(huì)和主題分會(huì)之外，同期將設(shè)置主題展覽，產(chǎn)業(yè)集群展示等多個(gè)內(nèi)容的專場(chǎng)活動(dòng)，全方位促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈資源的優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，互通共贏。

作為專業(yè)的化合物半導(dǎo)體智能檢測(cè)解決方案商，清軟微視（杭州）科技有限公司將參加本屆會(huì)議的展覽活動(dòng)（展位號(hào)B53），總經(jīng)理周繼樂先生也將帶來題為《化合物半導(dǎo)體襯底和外延缺陷無損檢測(cè)技術(shù)》的學(xué)術(shù)報(bào)告，誠(chéng)邀各位同行交流討論。

周繼樂

清軟微視（杭州）科技有限公司 總經(jīng)理

周繼樂 ，清軟微視（杭州）科技有限公司 總經(jīng)理? 。2014年畢業(yè)于清華大學(xué)，碩士研究生學(xué)歷，在國(guó)際頂級(jí)期刊和會(huì)議發(fā)表多篇論文，引用次數(shù)超1000；多年自主創(chuàng)業(yè)經(jīng)歷。清軟微視成立于2021年，是清華大學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)轉(zhuǎn)化的高新技術(shù)企業(yè)，專注于半導(dǎo)體視覺量檢測(cè)裝備研發(fā)。

清軟微視（杭州）科技有限公司總部位于杭州，是清華大學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)轉(zhuǎn)換的高新技術(shù)企業(yè)，致力于化合物半導(dǎo)體視覺領(lǐng)域量檢測(cè)軟件與裝備研發(fā)。清軟微視自主研發(fā)的針對(duì)碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）的襯底和外延無損檢測(cè)裝備 Omega 系列產(chǎn)品，可以檢測(cè)碳化硅和氮化鎵晶片在生產(chǎn)制造過程中產(chǎn)生的表面缺陷和內(nèi)部晶格缺陷，支持 BF/DIC/DF/PL 多種成像方式，已經(jīng)通過五家主流廠商的六大類數(shù)千塊量產(chǎn)片測(cè)試驗(yàn)證。

Omega 9880是針對(duì)碳化硅襯底和外延的檢測(cè)設(shè)備，與國(guó)外機(jī)臺(tái)對(duì)標(biāo)結(jié)果顯示，Omega 9880 檢測(cè)精度提升5倍，算法準(zhǔn)確率提升 5 個(gè)百分點(diǎn)，檢測(cè)效率提升50%，PL 信號(hào)更強(qiáng)。

? ?Omega 9880 主要技術(shù)參數(shù)

· 設(shè)備外形尺寸：1984*1559*1996mm

· 使用產(chǎn)品：4、6、8吋晶圓

· 掃描通道：BF/DIC/DF/PL

· 光學(xué)參數(shù)：5/10/20xDIC Microscopy with Autofocus

· 檢測(cè)效率：8WPH@8"; 15WPH@6"; 30WPH@4"

· 襯底支持的缺陷類型：Scatch、Pit、Micropipe、SF、Hex Void、Particle、Micropit等

· 外延支持的缺陷類型：Triangle、Downfall、Scratch、Carrot、IGSF SMicropipe、 Pit、Bump、PL BPD、PL SSF、PL BSF、PL GrainBoundary等

· 準(zhǔn)確率：＞99%，漏判率＜0.01%；誤判率＜0.02%

· 穩(wěn)定性：同一材料重復(fù)測(cè)試良率差異小于0.1%

· 機(jī)差：不同機(jī)臺(tái)檢測(cè)良率差異小于0.1%

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更多論壇進(jìn)展信息，敬請(qǐng)關(guān)注半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)！

附論壇詳細(xì)信息：

會(huì)議時(shí)間 : 2023年11月27-30日

會(huì)議地點(diǎn) :中國(guó)· 福建 ·廈門國(guó)際會(huì)議中心

主辦單位：

廈門市人民政府

廈門大學(xué)

第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）

中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）

承辦單位：

廈門市工業(yè)和信息化局

廈門市科學(xué)技術(shù)局

廈門火炬高新區(qū)管委會(huì)

惠新(廈門)科技創(chuàng)新研究院

北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司

論壇主題：低碳智聯(lián)· 同芯共贏

程序委員會(huì) ：

程序委員會(huì)主席團(tuán)

主席：

張? ?榮--廈門大學(xué)黨委書記、教授

聯(lián)合主席：

劉? ?明--中國(guó)科學(xué)院院士、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所所研究員

顧? ?瑛--中國(guó)科學(xué)院院士、解放軍總醫(yī)院教授

江風(fēng)益--中國(guó)科學(xué)院院士、南昌大學(xué)副校長(zhǎng)、教授

李晉閩--中國(guó)科學(xué)院特聘研究員

張國(guó)義--北京大學(xué)東莞光電研究院常務(wù)副院長(zhǎng)、教授

沈? ?波--北京大學(xué)理學(xué)部副主任、教授

徐? ?科--江蘇第三代半導(dǎo)體研究院院長(zhǎng)、中科院蘇州納米所副所長(zhǎng)、研究員

邱宇峰--廈門大學(xué)講座教授、全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院原副院長(zhǎng)

盛? ?況--浙江大學(xué)電氣工程學(xué)院院長(zhǎng)、教授

張? ?波--電子科技大學(xué)教授

陳? ?敬--香港科技大學(xué)教授

徐現(xiàn)剛--山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料研究院院長(zhǎng)、教授

吳偉東--加拿大多倫多大學(xué)教授

張國(guó)旗--荷蘭工程院院士、荷蘭代爾夫特理工大學(xué)教授

Victor Veliadis--PowerAmerica首席執(zhí)行官兼首席技術(shù)官、美國(guó)北卡羅萊納州立大學(xué)教授

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