天眼查顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“上電極裝置及半導(dǎo)體工藝設(shè)備”專利公布，申請(qǐng)公布日為2024年12月31日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119230366A。

本發(fā)明公開(kāi)了一種上電極裝置及半導(dǎo)體工藝設(shè)備，上電極裝置包括：進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，貫穿腔室蓋板設(shè)置，并與腔室蓋板活動(dòng)密封連接，用于向工藝腔內(nèi)通入工藝氣體；第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括至少一個(gè)第一位移導(dǎo)向組件，第一位移導(dǎo)向組件與進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的位于腔室本體外的一端連接，用于在進(jìn)氣結(jié)構(gòu)沿第一水平方向移動(dòng)時(shí)對(duì)進(jìn)氣結(jié)構(gòu)進(jìn)行導(dǎo)向；第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括至少一個(gè)第二位移導(dǎo)向組件，第二位移導(dǎo)向組件與進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的位于腔室本體外的一端連接，用于在進(jìn)氣結(jié)構(gòu)沿第二水平方向移動(dòng)時(shí)對(duì)進(jìn)氣結(jié)構(gòu)進(jìn)行導(dǎo)向，其中，第一水平方向與第二水平方向相交。本發(fā)明可提高上電極進(jìn)氣結(jié)構(gòu)與晶圓之間同軸度調(diào)節(jié)的可控性和便利性。