?2025 年 1 月 10日，安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司潔凈車間擴(kuò)建項目正式開工，為公司的發(fā)展開啟了新的篇章。

安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司成立于 2022 年 3 月，注冊資本 1100 萬元，作為合肥真萍電子科技有限公司的母公司，坐落于合肥經(jīng)開區(qū)云谷路 4708 號。公司是一家高新技術(shù)企業(yè)，專注于熱場（+30 - 1600℃）、真空（1 - 1*10?? torr）、高壓(10MPa)領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，集設(shè)計、制造、銷售及售后服務(wù)為一體。

此次擴(kuò)建項目將建設(shè) class100 和 class1000 車間，建設(shè)面積達(dá) 7000 平方。公司擁有一支實力雄厚的技術(shù)團(tuán)隊，核心成員由資深熱工、流體、結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體等領(lǐng)域的工程師組成，研發(fā)人員超過 40 人，均具有本科及以上學(xué)歷。目前，公司已獲得 60 項國家專利申請，其中包括 12 項發(fā)明專利和 16 項軟件著作權(quán)，并擁有約 32000 平米廠房及 2000 平米潔凈車間。

在主營業(yè)務(wù)方面，公司致力于研發(fā)高集成自動化、適應(yīng)復(fù)雜制程需求的半導(dǎo)體設(shè)備，如全自動立式爐、立式氧化爐、立式擴(kuò)散爐、立式退火爐、立式?LPCVD?爐、立式合金爐、全自動甲酸真空焊接爐、全自動真空無氧氣烤箱、全自動真空壓力烤箱、全自動 SIC 覆膜爐等。目前，公司已成功研發(fā)并量產(chǎn)多款自動化產(chǎn)品，其中應(yīng)用于晶圓和先進(jìn)封裝段 單管、雙管、四管立式爐，Baking 工藝的全自動真空無氧烤箱、全自動真空壓力烤箱、甲酸回流焊爐等設(shè)備批量生產(chǎn)。