?隨著第三代半導體功率器件在新能源汽車、光伏風電、電力傳輸?shù)葢锰嵘谌雽w功率器件的分析檢測需求也日益增加。近日，第十屆國際第三代半導體論壇&第二十一屆中國國際半導體照明論壇（IFWS&SSLCHINA2024）在蘇州召開。

期間“第三代半導體標準與檢測研討會”上，深圳平湖實驗室失效分析首席專家何光澤做了“面向SiC/GaN功率器件失效分析的測試技術與典型應用”的主題報告，結合第三代半導體功率器件產(chǎn)業(yè)鏈與分析檢測應用之關聯(lián)，第三代半導體功率器件分析流程，具體介紹了無損分析，電性失效分析 – 缺陷定位，物性失效分析–結構與缺陷觀察等內(nèi)容。

?

何光澤

深圳平湖實驗室失效分析首席專家

報告顯示，配備短波長的EMMI、高壓(3KV)的OBIRCH與thermal emission是第三代半導體功率器件失效分析缺陷定位不可或缺的儀器，增加了亮點偵測的效率。

SEM, FIB與TEM是結構觀察的三個基本工具，對于工藝研發(fā)占有舉足輕重的地位，若是需要判斷原子級別，則球差TEM是必備的設備。若是得觀察SiC的PN結，傳統(tǒng)的SEM以外，F(xiàn)IB與SCM也是另外的選項。SIMS在縱深摻雜濃度的檢測是唯一的選擇，與結構觀察同等重要。

表面分析、污染分析、化學態(tài)鑒定、晶向與晶粒觀察，位錯觀察、應力分析等等，不同的分析場景就需應用不同的材料分析工具，分析者需確認材料的元素、分子、結構、樣品狀態(tài)，觀察范圍來選擇適合的工具，并充分與各領域專家討論后，才能提供最適合的方案。?

嘉賓簡介

何光澤，深圳平湖實驗室失效分析首席專家，曾在茂硅與聯(lián)電負責良率提升與失效分析的事務，在樣品化學處理、缺陷定位與電鏡觀察上有豐富的經(jīng)驗。2015進入第三方分析檢測實驗室閎康科技，并于后期擔任失效分析處長一職，總管兩岸失效分析與靜電測試之業(yè)務，在閎康科技期間，發(fā)表了5篇國際論文，同時也擔任臺灣靜電學會議程委員與臺灣電路板協(xié)會半導體構裝委員會委員。何光澤于2024年加入深圳平湖實驗室擔任失效分析首席專家，負責分析檢測中心的管理運作。

關于平湖實驗室

國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心（深圳）于2021年12月由科技部授牌，2022年8月由深圳市科技創(chuàng)新局舉辦成立深圳平湖實驗室作為主體運營單位，圍繞SiC和GaN及下一代先進功率電子材料及器件、核心裝備及零部件、配套材料等領域，開展核心技術攻關。?

實驗室位于深圳市龍崗區(qū)羅山科技園，占地面積130畝，100級潔凈間面積9500平米，擁有業(yè)界領先的寬禁帶功率半導體基礎設施，國際、國內(nèi)各類先進設備380余臺套。實驗室人力規(guī)模350人，匯聚海內(nèi)外頂尖人才，打造面向全國的開放、公共、共享的科研、中試和分析檢測平臺，共同構建可持續(xù)發(fā)展的未來。

（根據(jù)現(xiàn)場資料整理，僅供參考）??