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2024年11月18-21日，第十屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS2024）&第二十一屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA2024）、先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)應(yīng)用創(chuàng)新展（CASTAS）將在蘇州國(guó)際博覽中心G館舉辦。

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司將攜多款產(chǎn)品亮相此次展會(huì)。誠(chéng)摯邀請(qǐng)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)同仁共聚論壇，蒞臨B35 號(hào)展位參觀交流、洽談合作。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司工藝主任工程師陳丹瑩將出席論壇，并在“碳化硅襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù)“分會(huì)，帶來(lái)“PRISMO PDS8 – 用于SiC功率器件外延生長(zhǎng)的CVD設(shè)備”的主題報(bào)告，敬請(qǐng)期待！?

嘉賓簡(jiǎn)介

陳丹瑩

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司工藝主任工程師

陳丹瑩，主要研究方向?yàn)榈X薄膜的高溫化學(xué)氣相沉積。博士畢業(yè)后，她在法國(guó)國(guó)家科學(xué)研究中心-SIMaP實(shí)驗(yàn)室繼續(xù)從事碳化硅薄膜CVD生長(zhǎng)的科研工作。2021年加入中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司后主要從事AMEC MOCVD產(chǎn)品的工藝開(kāi)發(fā)工作。憑借在化合物半導(dǎo)體技術(shù)、材料表征和數(shù)值模擬方面的扎實(shí)知識(shí)，她參與開(kāi)發(fā)了AMEC用于碳化硅外延的CVD系統(tǒng)的工藝開(kāi)發(fā)，主要負(fù)責(zé)實(shí)現(xiàn)低缺陷密度、高生長(zhǎng)速率及摻雜控制。?

演講報(bào)告：PRISMO PDS8 – 用于SiC功率器件外延生長(zhǎng)的CVD設(shè)備

演講場(chǎng)次：碳化硅襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù)?

公司簡(jiǎn)介

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（股票簡(jiǎn)稱：中微公司，股票代碼：688012）是一家以中國(guó)為基地、面向全球的微觀加工高端設(shè)備公司。中微公司基于在半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)多年耕耘積累的專業(yè)技術(shù)，跨足半導(dǎo)體芯片前端制造、先進(jìn)封裝、發(fā)光二極管生產(chǎn)、MEMS制造以及其他微觀制程的高端設(shè)備領(lǐng)域，其集成電路制造設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國(guó)際一線客戶從65納米到5納米及更先進(jìn)的芯片加工工藝，中微公司開(kāi)發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場(chǎng)占據(jù)領(lǐng)先地位。中微公司的客戶遍布中國(guó)大陸和臺(tái)灣、新加坡、韓國(guó)、日本、德國(guó)、意大利等國(guó)家和地區(qū)。?

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China is an innovative Asia-based semiconductor equipment company with a range of proprietary fabrication solutions designed to advance technology, increase productivity, and reduce manufacturing costs for leading global manufacturers of semiconductors and LEDs. We provide state-of-the-art equipment, process expertise, and stellar support to customers in front-end semiconductor manufacturing, back-end wafer level packaging, LED production, MEMS applications, and other semiconductor fabrication processes. AMEC is an entrenched supplier of IC manufacturing equipment, helping chipmakers build devices at process nodes as low as 5nm and beyond. In addition, AMEC's MOCVD tools are deployed in volume production by leading global manufacturers of LEDs and power devices, and occupy a dominant position in the GaN LED MOCVD market. AMEC products are used today by technology leaders in Chinese mainland and Taiwan region, as well as Singapore, Korea, Germany, ltaly and etc.

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